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光電開關(guān)的光柵傳感器細分原理介紹
 
錄入時間:2014-10-18 09:30:55瀏覽次數(shù):1
 

如果僅以光柵的柵距作其分辨單位,只能讀到整數(shù)莫爾條紋,倘若要讀出位移為0.1um,勢必要求每毫米刻線一萬條,這是目前工藝水平無法實現(xiàn)的。因此,只能在合適的光柵柵距的基礎(chǔ)上,對柵距進一步細分,才能獲得更高的測量精度。常用的細分方法有倍頻細分法和電橋細分法等。在一個莫爾條紋寬度上并列放置四個光電元個把,得到相位分別相差和四個正弦周期信號。選擇適當電路處理這一列信號,使其合并得到的脈沖涼信號,每個脈沖分別和四個周期信號的零點相對應(yīng),則電脈沖涼的周期為1/4個莫爾條紋寬度。用計數(shù)器對這一列脈沖涼信號計數(shù),就可以讀取到1/4個莫爾條紋寬度的位移量。這樣得到的分辨率,將是光柵固有的分辨率的四倍。此方法稱為四倍頻細分法。光電開關(guān)的若再增加光敏元件,同理可以進一步進提高測量分辨率。

  細分電路以移動過的莫爾條紋數(shù)量來確定位移量,能測量的最小位移量就是光柵柵距。光電開關(guān)的光柵傳感器為了提高分辨率,以測量小于柵距的位移量,應(yīng)采用細分技術(shù)。光柵信號細分技術(shù)主要有光學細分、電子細分和微機軟件細分等方式,細分與未細分的比較由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜、調(diào)式困難、成本高等原因,已很少使用。而電子細分的原理是在莫爾條紋信號變化一個周期內(nèi),發(fā)出若干個脈沖,以減小脈沖當量。如一個周期內(nèi)發(fā)出n個脈沖,就可使為原來的n倍,每個脈沖涼當量相當于原來柵距的1/n。由于細分后計數(shù)脈沖頻率為原來的n倍,所以也稱為n倍頻。

  電子細分不可能得到高的細分數(shù),且細分數(shù)是固定的,所以現(xiàn)在大多數(shù)光柵數(shù)顯表都采用了微機軟件細分法。

  光柵信號的計算機軟件細分技術(shù)是目前應(yīng)用較為廣泛、也比較我成熟的細分技術(shù)。

  軟件細分法一般是:將兩個相差的信號通過轉(zhuǎn)換輸入微機,再利用一定的算法計算出莫爾信號的相位,即可推算出此時莫爾條紋的內(nèi)的位置點,得到小于柵距的細分值,又稱小數(shù)。

  通過分辨向電路輸出的為大數(shù)脈沖,脈沖頻率對應(yīng)于莫爾條紋變化頻率,脈沖當量為光柵柵距值。

  經(jīng)過大小靈敏合并處理后,再由微機進行數(shù)值班計算和碼制轉(zhuǎn)換等處理,即可得到測量值。采用微機軟件細分方法,不但可以得到高細分數(shù),而且可以通過編程改變細分數(shù),結(jié)構(gòu)簡單、成本低、可靠性高,非常適用于智能檢測與控制等系統(tǒng)。

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