聲表面波SAW式氣體接近開關(guān)傳感器制作在壓電材料的襯底上，一端的表面為輸入換能器，另一端為輸出換能器。兩者之間的區(qū)域淀積了能吸附VOC的聚合物膜。被吸附的分子增加了接近開關(guān)傳感器的質(zhì)量，使聲波在材料表面的傳播速度或頻率發(fā)生變化，可通過測量聲波的速度或頻率來測量氣體體積分?jǐn)?shù)。主要?dú)饷舨牧嫌芯郛惗∠?、氟聚多元醇等，用來測量苯乙烯和甲苯等有機(jī)蒸汽。其優(yōu)勢在于選擇性高，靈敏度高，在很寬的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定，對溫度響應(yīng)低和良好的可重復(fù)性。SAW接近開關(guān)傳感器輸出頻率信號，當(dāng)外界待測量變化時(shí)，引起振蕩頻率變化，易于將敏感器與相配的電子器件結(jié)合在一起，以實(shí)現(xiàn)微型化、集成化。 |
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