電容式接近開關(guān)的敏感元件由導(dǎo)電極板系統(tǒng)組成，可被視為一個(gè)或一組電容，附近出現(xiàn)或經(jīng)過(guò)的導(dǎo)電體和介電體改變極板系統(tǒng)中的靜電場(chǎng)分布，從而改變敏感元件的電容。信號(hào)處理電路檢測(cè)出這種變化，就可以檢測(cè)出目標(biāo)物體的接近。相比之下，電容式傳感器的結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單、工作阻抗高，因而功耗較低，此外通過(guò)鎖頻或頻譜擴(kuò)展載波調(diào)制技術(shù)，可以使之不受寄生或有意的干擾影響。其他方案則很難達(dá)到設(shè)計(jì)者的要求。
機(jī)械開關(guān)的穩(wěn)定性和可靠性較差磁敏感方式功耗過(guò)大，也容易受外磁場(chǎng)的影響；光學(xué)式和超聲式傳感器的結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，容易受外界干擾。
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